کاربرد/دامنه کاربرد
این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد:
1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography
2- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode)
3- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو
4- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS
5- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است
6- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU8
7- نوردهی مستقیم به انواع پلیمرها