مشخصات محصول ُ یونیت نیمه اتومات فرایند لیتوگرافی بدون سیستم انطباق Semi Auto Lithography Rack

جهت انجام فرایند لیتوگرافی بطور نیمه خودکار و قابل برنامه ریزی این دستگاه قابلیت تغییر به سیستمی که بتواند نمونه با سایز استاندارد را بگیرد و فرایند را به صورت اتوماتیک اجرا کند را نیز دارا است. ولی در این نمونه بعضی از فرایند ها به صورت نیمه اتومات بخصوص فرایند نوردهی و تنظیم زمانهای و سرعت اسپین اجرا می شود.

ندارد