کاربرد/دامنه کاربرد
این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد:
1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography
2- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت پروگزمتی Proximity Lithography
3- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode)
4- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو
5- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS
6- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است
7- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU8