مشخصات محصول یونیت نیمه اتوماتیک فرآیند لیتوگرافی، انطباق و نوردهی

این سامانه دارای اسپین کوتر و هات پلیت و سیستم نوردهی و انطباق هست که همه این اجزا در یک محفظه ایزوله قرار دارد.
- استفاده به عنوان یک یونیت یکپارچه فرایند لیتوگرافی به همراه سیتم انطباق ماسک
- ایجاد الگوهای مورد نظر روی بسترهای مسطح و انطباق روی الگوی از قبل تعیین شده.
- انجام پوشش دهی سطوح با پلیمرهای مختلف (قسمت اسپین کوتر)
- انجام نوردهی مستقیم
- قابلیت نصب سیستم نوردهی projection ( قابل تهیه به عنوان محصول دیگر این شرکت)

ندارد