کاربرد/دامنه کاربرد
استفاده از سیستم های خلاء برای بسیاری از کاربردهای آزمایشگاهی و صنعتی، لازم است. مثلا، در آزمایشگاه های مطالعه خواص نیمه هادی ها و لایه نازک فلزی، به عنوان ملاء با قابلیت کنترل فشار هوا وعاری از آلودگی حائز اهمیت است. در سیستم های لایه نشانی مواد، به روش های تبخیر حرارتی، تبخیر با شعاع الکترونی، کندو پاش و غیره نیز محفظه ای خلاء وسیله اصلی کار می باشند. این محفظه در کلیه سیستم های خلاء بکار رفته مشاهده درون آن را امکان پذیر سازد و به دلیل سبکتر شدن، کار با آن را آسان تر کند.