کاربرد/دامنه کاربرد
کاربرد این سیستمها عمدتاً در زمینة لایهنشانی لایههای نازک رسانا است. لایههای نازک که ضخامت آنها حدوداً یک تا دو ده هزارم میلی¬متر است، در زمینههای اپتیک ، الکترونیک نوری، میکروالکترونیک، لیزر و ابررسانایی، استفاده می¬گردد. کاربردهای این سیستم لایه¬نشانی به شرح زیر است:
• فناوری نانو
• اپتیک
• میکروالکترونیک
• ابررسانایی
• فیلترهای نوری
• اپتوالکترونیک
• آینه های لیزر