مشخصات محصول دستگاه ماسک الاینر (دوطرفه)

این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد:1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography2- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode)3- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو4- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS5- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است6- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU87- نوردهی مستقیم به انواع پلیمرها

ندارد